Следующая книга
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Автор: | И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб |
Издатель: | Политехника |
Год: | 1991 |
ISBN: | 5-7325-0001-4 |
Формат: | 60x90/16 |
Количество страниц: | 288 |
Цена: | 202 руб. |
Описание: | В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применён аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчёта как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объёма. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. |
Заказать, либо купить книгу |
Книги, литература
- Функциональные аналоговые интегральные микросхемы
Приводятся сведения о четырёх классах специализированных функциональных интегральных микросхем. ... - Малогабаритные источники тока
Кратко рассмотрены принципы работы и параметры малогабаритных марганцево-цинковых, никель- цинковых, ... - Микрокалькуляторы для всех
В век научно-технического прогресса вычислительная техника проникает буквально во все сферы человеческой ...