Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых ...

Статистика связи
В книге рассматриваются вопросы теории и практики статистики связи, принципы и методы статистической работы ...

Технология микроэлектронных устройств
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в ...