Следующая книга
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
| Автор: | И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб |
| Издатель: | Политехника |
| Год: | 1991 |
| ISBN: | 5-7325-0001-4 |
| Формат: | 60x90/16 |
| Количество страниц: | 288 |
| Цена: | 202 руб. |
| Описание: | В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применён аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчёта как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объёма. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. |
| Заказать, либо купить книгу |
Книги, литература
Коммутация на интегральной цифровой сети связи
Излагаются принципы построения коммутационных систем интегральной цифровой сети связи (ИЦСС), методы ...
Силовые полупроводниковые ключи. Семейства, характеристики, применение
Представлена эволюция развития семейств мощных ключевых приборов. Приведены базовые структуры ...
Основы проектирования интегральных схем и систем
В книге рассматриваются вопросы, связанные с методикой проектирования интегральных схем и систем, в том ...