Следующая книга
Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
| Автор: | И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб |
| Издатель: | Политехника |
| Год: | 1991 |
| ISBN: | 5-7325-0001-4 |
| Формат: | 60x90/16 |
| Количество страниц: | 288 |
| Цена: | 202 руб. |
| Описание: | В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применён аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчёта как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объёма. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники. |
| Заказать, либо купить книгу |
Книги, литература
Полевые транзисторы. Справочник
В справочнике приведены сведения об основных электрических параметрах, режимах измерения, предельно ...
Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление
В книге американских специалистов рассматриваются методы введения примесей в полупроводники, выращивания ...
Машинные методы анализа и проектирования электронных схем
Книга канадских авторов содержит основные сведения о наиболее распространённых методах и алгоритмах ...