Двуx буквенные домены зоны .ru
  • Книги / Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем
Следующая книга

Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем

Автор:И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб
Издатель:Политехника
Год:1991
ISBN:5-7325-0001-4
Формат:60x90/16
Количество страниц:288
Цена:202 руб.
Описание:В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе применён аппарат вычислительной гидродинамики для задач технологии приборостроения. Рассмотрены задачи гидромеханики, тепло- и массообмена жидкостей применительно к технологическим операциям изготовления приборов и схем микроэлектроники. Описаны методы расчёта как ламинарного, так и турбулентного режимов течения и теплообмена для одно- и двухфазных потоков в смесительных камерах, подводящих и отводящих трактах, реакторах при различных вариантах расположения пластин. Приведено описание численных процедур решения исходных уравнений, записанных в форме Навье-Стокса или Рейнольдса. Значительное внимание уделено результатам численного решения, полученным с помощью метода контрольного объёма. Монография предназначена для научных работников, занимающихся исследованием и разработкой процессов изготовления изделий микроэлектронной техники.
 Заказать, либо купить книгу

И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб / Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / В монографии впервые в отечественной и зарубежной литературе ...

Книги, литература