Следующая книга

Технология микроэлектронных устройств

Автор:З. Ю. Готра
Издатель:Радио и связь
Серия:Справочник
Год:1991
ISBN:5-256-00699-1
Формат:60x90/16
Количество страниц:528
Цена:408 руб.
Описание:Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких плёнок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надёжности при изготовлении микроэлектронных устройств.
 Заказать, либо купить книгу

З. Ю. Готра / Технология микроэлектронных устройств / Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, ...

Книги, литература