Следующая книга
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
| Автор: | В. Киреев, А. Столяров |
| Издатель: | Техносфера |
| Год: | 2006 |
| ISBN: | 5-94836-039-3 |
| Формат: | 60x90/16 |
| Количество страниц: | 192 |
| Цена: | 211 руб. |
| Описание: | Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведён анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых плёнок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение плёнок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов. |
| Заказать, либо купить книгу |
Книги, литература
Нейронные сети. Основы теории
Изложена методика синтеза многослойных нейросетей различной структуры: с полными и неполными ...
Англо-русский словарь по квантовой электронике и голографии
Словарь содержит около 18 000 терминов по квантовой электронике, нелинейной оптике, голографии, оптическим ...
Самоучитель по микропроцессорной технике
Данная книга представляет собой популярный учебник по микроэлектронике. Книга затрагивает широкий круг ...